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Alpha-Step D-500臺階儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。
Alpha-Step D-600臺階儀探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和光學系統(tǒng)以及加強視頻控制。
P-17臺階儀是臺式探針輪廓儀,是多年的表面量測經驗的結晶。支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
KLA探針式臺階儀P-7:P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
眼鏡蛇(快響)測速探針針對風工程、能源動力、汽車、航空、暖通空調等領域科研人員設計,具有測量范圍廣,高精度,速度方向測量,高頻響等特點。
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